佛仪科技（佛山）有限公司成立于2019年2月，是季华实验室科研成果转化和产业化的载体之一，主要从事半导体装备及关键零部件研发、制造和销售。

公司业务领域聚焦于半导体装备及关键零部件研发、制造。技术均来源于自主研发，产品主要包括集成电路装备专用大功率射频电源及匹配器、远程等离子体源、薄膜真空计、蝶阀等半导体及工业真空用关键零部件，在国内属于领先梯队，已广泛应用于刻蚀设备、薄膜沉积设备、等离子清洗设备等各种半导体关键设备。

公司拥有授权知识产权26件，其中发明21件。于2024年获湾高赛优秀奖、第二届佛山高转赛银奖；获广东省科学技术奖科技进步奖二等奖，参与发布1项团体标准。通过ISO9001质量体系认证，获“广东省半导体装备及零部件学会”授牌“科技服务站”，拥有创新型中小企业、科技型中小企业、高新技术企业、专精特新中小企业以及佛山国创院研究生联合培养示范点资质。

▲Launch系列射频电源

▲MultiFlex系列匹配器

▲Spark系列微波电源

▲HVPRO系列直流电源

▲MRP系列微波远程等离子源

▲射频远程等离子体源

▲电容薄膜真空计

▲FSAF系列真空高速蝶阀