季华恒一(佛山)半导体科技有限公司(简称季华恒一)是季华实验室(先进制造科学与技术广东省重点实验室)的科技成果产业化公司。公司于2021年6月22日成立,注册资本1191.5919万元,是一家集研发、生产、销售和服务于一体的半导体装备高科技型企业。
公司位于粤港澳大湾区佛山市三龙湾科技城,距离广州南站仅5公里。公司拥有1000平方米半导体装备装配车间,满足年产各类设备50台套的装配能力;2000平方米1000级洁净的装备研发平台用于半导体装备研发测试,可以满足装备工艺验证测试需求。
公司由国家级人才牵头,集聚了一支以研究员、博士等为核心的半导体技术研发和管理团队,公司专注于宽禁带半导体和新能源领域的半导体装备产业化。着力于开发满足高良率、稳定生产需求的SiC高温外延生长设备、高温(常温)离子注入机设备、高温氧化与激活设备、激光退火设备、快速退火(氧化)设备,设备均已成功上线使用,表现优异!推动着我国半导体产业制造装备的自主可控发展。
公司主要产品主要应用于半导体晶圆制造,主要用户包括从事半导体晶圆制造厂商及从事相关工艺研究的高校与科研机构。
公司现有(2025年底)员工48人,包括研究员级高级工程师3人,高级工程师5人;博士研究生5人,硕士研究生16人。
公司现有知识产权52项,其中发明专利42项,主要包括主导设备离子注入机、碳化硅高温外延、激光退火设备、高温氧化与激活设备、快速退火与氧化设备等。为公司产品推广提供了坚实的技术基础。
公司是国家级高新技术企业,通过了ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系、ISO45001职业健康安全管理体系认证,并取得了辐射安全许可证。是南海区的“优秀科技创新团队”、佛山市“醒狮100企业”、广东省半导体制造企业、广东省的“专精特新”企业、国家工信部“小巨人”企业。公司2024年完成了A轮融资,吸引外部资本投入5000万元人民币。
公司自成立以来,保持健康稳定向上的发展态势,销售收入持续提升,公司产品从科研院所拓展到了产线,并销售到了行业内具有一定影响力的研究单位,在行业中的影响力正在初步扩大。


