部门简介

微纳科学与技术研究部下设单光子传感器与系统研究组，主要研究方向为微纳光电器件的设计优化、工艺开发与集成应用。目前研究部已建设五个专业实验平台，可满足微纳器件光电功能测试、单光子传感器性能指标测试、光电器件与电路设计、二维薄膜材料化学气相沉积等需求。本部门承担多个国家级、省部级项目，已发表SCI/EI论文及获得专利授权近30项。

部门架构

单光子传感器与系统研究组

人才队伍

研究组由13名全职工作人员组成，含博士7名、硕士5名；拥有高级职称3人，中级职称5人；另有2名联培学生。

团队成员按课题方向分为器件、电路、光学、测试四个小组，围绕自立项、纵向与横向项目、基金项目要求展开研究工作。

科研能力

团队设有四个方向，分别为器件制备、电路设计、光电测试、传感器应用。目前在研的有《单光子雪崩二极管阵列探测器及小型时间门控拉曼光谱系统研发》《单光子雪崩二极管（SPAD）阵列用器件与工艺开发》《基于集成化离子阱量子系统的低频电场的多频段精密测量方法及智能化样机研发》《用于高分辨多光子计数的大时延非线性读出延迟线研究》等项目。

技术能力

当前团队已建立起晶圆级和封装器件级SiPM/SPAD阵列性能指标测试系统、时间门控拉曼光谱系统、二维薄膜材料化学气相沉积平台等，拥有芯片设计、电学仿真、电路设计、光路设计、成像系统设计等能力，可提供SPAD阵列器件、TDC电路、拉曼系统开发服务。

业绩成果

2023年，研究组为某半导体公司搭建图像传感器测试系统，为该公司像素设计和工艺调整提供参照和反馈。

2024年起，与某半导体公司联合开发基于先进工艺节点的背照式SPAD工艺和器件知识产权情况

截至2025年3月，本团队已拥有授权发明专利21件，软著1项。

技术能力

当前团队已建立起晶圆级和封装器件级SiPM/SPAD阵列性能指标测试系统、时间门控拉曼光谱系统、二维薄膜材料化学气相沉积平台等，拥有芯片设计、电学仿真、电路设计、光路设计、成像系统设计等能力，可提供SPAD阵列器件、TDC电路、拉曼系统开发服务。

研究成果

• 大口径平面透镜
• 多功能超构表面透镜
• 图像传感器测试系统