科研成果
半导体技术与装备领域
SiC高温外延生长装备
2026-08-18
远程等离子体源
2026-08-18
2.45GHz 6kW微波电源
2026-08-18
400kHz 5kW大功率低频电源
2026-08-18
2MHz 5kW射频电源
2026-08-18
60MHz 6kW高频脉冲射频电源
2026-08-18
13.56MHz 2kW自动阻抗匹配器
2026-08-18